熱式質(zhì)量流量控制器是一種常用于氣體流量控制的設備，它通過測量氣體的熱量傳導能力來實現(xiàn)對氣體流量的精確控制。利用了熱量傳導定律，即在給定的空間內(nèi)，當流過相同截面積的兩側(cè)的氣體溫度差固定時，其熱量傳導速率與流量成正比。
1.提供恒定的加熱功率：控制器內(nèi)部配備了一個或多個加熱絲，通過電流加熱絲，使其保持恒定的溫度。
2.測量溫度差：在加熱絲的上游和下游位置設置溫度傳感器，分別測量兩處的溫度。由于氣體流經(jīng)加熱絲時會帶走部分熱量，因此上游和下游位置的溫度存在差異。
3.計算流量：根據(jù)測得的溫度差、加熱功率以及氣體的熱導率等參數(shù)，計算出流經(jīng)流量控制器的氣體流量。
4.反饋控制：將計算得到的流量與設定值進行比較，通過調(diào)節(jié)控制閥門的開度，使得實際流量接近設定值。
主要組成部分構成：
1.流量傳感器：包括加熱絲和溫度傳感器。加熱絲通常由細絲或薄膜形成，具有較高的電阻率和快速響應特性；溫度傳感器可采用熱電阻或熱敏電阻等。
2.控制閥門：用于調(diào)節(jié)氣體流量，通常采用電磁閥控制閥門的開度。
3.控制電路：包括測量電路、計算電路和反饋控制電路等，用于實時采集和處理溫度、電流信號，并進行流量計算和控制。
熱式質(zhì)量流量控制器的工作過程如下：
1.初始化：在啟動前，先對質(zhì)量流量控制器進行初始化，包括校準和零點調(diào)整等。
2.測量和計算：啟動后，加熱絲開始工作，通過測量上游和下游位置的溫度，計算出實際流量值。
3.控制閥調(diào)節(jié)：將實際流量值與設定值進行比較，根據(jù)差異調(diào)節(jié)電磁閥門的開度，使實際流量逐漸接近設定值。
4.反饋控制：通過不斷的測量和調(diào)節(jié)，實現(xiàn)精確的流量控制。同時，控制電路會監(jiān)測控制閥門的工作狀態(tài)和溫度變化等，以保證系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。
適用于以下場景：
1.實驗室研究：用于氣體進樣、流量控制和調(diào)節(jié)等實驗需求。
2.半導體制造：用于氣體送入、化學蝕刻、氣相沉積等過程的流量控制。
3.環(huán)境監(jiān)測：用于氣體排放、燃燒過程的流量控制和檢測。
4.化學工程：用于化學反應、氣體供應系統(tǒng)等的流量控制和調(diào)節(jié)。
5.醫(yī)療器械：用于氣體輸送、呼吸機等醫(yī)療設備中的流量控制。
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陳工